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等離子清洗設備的保養-深圳金徠
來源:
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作者:深圳金徠
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發布時間: 1501天前
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等離子清洗設備的保養
俗話說，工欲善其事，必先利其器，一個好的工具往往能讓工作事半功倍。又說：功夫再高也怕菜刀，機器再好也要保養。所以下面就為大家分享一些常見的保養事宜：
1、定期檢查真空泵油
每月定期查看真空泵油位和油的純度，觀察油位視窗，油位接近最低紅線刻度時，則添加到油紅標線上下之間位置；觀察油的顏色，正常的油為清潔透明，當油出現渾濁（油顏色變灰褐色或者油位視窗模糊不清）、真空泵噪音異常，則及時更換真空油。
2、清洗反應腔室
首先脫脂棉布沾無水乙醇（俗稱酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反應腔體觀察玻璃）真空腔體。
其次腔體導入（氬氣+氧氣）或（氮氣+氧氣），用等離子體清除腔體內殘余物。工作10分鐘，每月至少一次。
3、檢查輸氣管道的完整性及真空密封性.
定期檢查真空系統的完整性，這種檢查應該在徹底的清洗反應室之后，以避免污染物遺漏在腔體中。
定期檢查反應腔體門密封條是不是松動。檢查各管路是否連接緊固，老化等問題。
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